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亞東工業氣體碳捕捉設備落成 提升電子級氣體量能 助力半導體先進製程

Published on 六月 25, 2024

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亞東工業氣體於今日(6月24日)於桃園觀音廠舉辦二氧化碳回收設備啟用典禮,液空集團大中華區副總裁Rui COELHO,亞東工業氣體董事長徐旭平,投資臺灣事務所執行長張銘斌,法國在台協會主任龍燁,桃園市長張善政等貴賓出席見證亞東重要的里程碑。
亞東觀音廠生產純度 99.9995% 以上的電子級氫氣供應半導體與面板產業,透過二氧化碳回收製程,可大幅提升現有之電子級氫氣產量約 20%,並回收超過90%製程中產生的二氧化碳,回收的二氧化碳經過純化達電子級標準,將供應給半導體客戶的先進製程使用。本套設備可透過製程效率的提升,為半導體客戶的先進製程提供高品質的產品,並透過製程優化,落實亞東的減碳承諾。
亞東工業氣體總裁 Olivier LETESSIER 表示:「作為全球工業氣體的領導者與半導體產業最堅實的夥伴,亞東持續導入創新科技優化製程,提高生產效率,達到資源更有效的應用。透過此套碳捕捉設備的啟用,我們得以提升產量,為客戶提供更穩定、更充沛的高純度氫氣與二氧化碳產品並減少碳足跡。」